Type | Book |
ชื่อเรื่อง | Introduction to microsystem technology : a guide for students / Gerald Gerlach, Wolfram Dötzel ; translated by Dörte Müller |
ผู้แต่ง | Gerlach, Gerald |
ISBN | 9780470058619 |
| 0470058617 (hbk.) |
| 9780470058619 (cloth) |
| 0470058617 |
| 9780470058619 (hbk.) |
พิมพลักษณ์ | Chichester, England ; Hoboken, NJ : J. Wiley \& Sons, c2008 |
รูปเล่ม | xxiii, 351 p. : ill |
ลิงค์ | Contents. |
หัวเรื่อง | Microelectromechanical systems |
| Microelectromechanical systems --Design and construction [] |
| Microelectronics |
| System design |