| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Computational modeling in semiconductor processing / M. Meyyappan, editor |
| ISBN | 0890067074 |
| พิมพลักษณ์ | Norwood, MA : Artech House, c1995 |
| รูปเล่ม | x, 363 p. : ill., tables ; 23 cm |
| หัวเรื่อง | Process control --Mathematical models [] |
| | Semiconductor industry |
| | Semiconductors --Design and construction --Data processing [] |
| | Semiconductors |