| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Plasma etching processes for interconnect realization in VLSI [electronic resource] / edited by Nicolas Posseme |
| ISBN | 9781785480157 |
| พิมพลักษณ์ | London : ISTE Press ;Oxford : Elsevier, 2015 |
| รูปเล่ม | xiv, 108 p. : ill |
| ลิงค์ | Ebook from ScienceDirect |
| หัวเรื่อง | Integrated circuits --Very large scale integration [] |
| | Molded interconnect devices |
| | Plasma etching |