| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Nanofabrication by ion-beam sputtering : fundamentals and applications / edited by Tapobrata Som, Dinakar Kanjilal |
| ISBN | 9789814303750 (hardback) |
| | 9789814303750 (hbk.) |
| | 9814303755 (hardback) |
| พิมพลักษณ์ | Danvers, MA: Pan Stanford, c2013 |
| รูปเล่ม | xix, 333 p. : ill. ; 24 cm |
| หัวเรื่อง | Ion bombardment |
| | Nanoelectronics |
| | Nanomanufacturing |
| | Nanoscience |
| | Nanostructured materials |
| | Nanotechnology |
| | Sputtering (Physics) |