| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Fundamental principles of optical lithography : the science of microfabrication / Chris Mack |
| ผู้แต่ง | Mack, Chris a |
| ISBN | 9780470727300 |
| | 9780470727300 (pbk.) |
| พิมพลักษณ์ | Chichester, West Sussex, England ; Hoboken, NJ, USA : Wiley, c2007 |
| รูปเล่ม | xvii, 515 p. : ill |
| หัวเรื่อง | Integrated circuits --Design and construction [] |
| | Microlithography --Industrial applications [] |