| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Semiconductor industry [electronic resource] : wafer fab exhaust management / J. Michael Sherer |
| ผู้แต่ง | Sherer, J. michael |
| ISBN | 1574447203 |
| | 9781315221052 (ebook) |
| | 9781574447200 |
| พิมพลักษณ์ | Boca Raton, Fla. : CRC/Taylor & Francis, c2005 |
| รูปเล่ม | 194 p |
| ลิงค์ | Taylor & Francis eBooks |
| หัวเรื่อง | Air --Purification --Technological innovations [] |
| | Semiconductor industry --Envionmental aspects [] |
| | Semiconductor wafers --Design and construction [] |