| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Handbook of sputter deposition technology [electronic resource] : fundamentals and applications for functional thin films, nanomaterials and MEMS / edited by Kiyotaka Wasa, Isaku Kanno and Hidetoshi Kotera |
| ISBN | 9781437734836 |
| พิมพลักษณ์ | Waltham, Mass. : William Andrew, 2012 |
| ครั้งที่พิมพ์ | 2nd ed |
| รูปเล่ม | xii, 644 p. : ill |
| ลิงค์ | Ebook from ScienceDirect |
| หัวเรื่อง | Cathode sputtering (Plating process) --Handbooks, manuals, etc [] |
| | THIN FILMS --HANDBOOK, MANUALS, ETC [] |
| | Thin films --Handbooks, manuals, etc [] |