| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Handbook of plasma processing technology : fundamentals, etching, deposition, and surface interactions / edited by Stephen M. Rossnagel, Jerome J. Cuomo, William D. Westwood |
| ISBN | 0815512201 : $86.00 |
| พิมพลักษณ์ | Park Ridge, N.J., U.S.A. : Noyes Publications, c1990 |
| รูปเล่ม | xxiii, 523 p. : ill. ; 25 cm |
| หัวเรื่อง | Plasma engineering |
| | Plasma etching |
| | Semiconductors --Etching [] |