| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Plasma etching for CMOS devices realization [electronic resource] / edited by Nicolas Posseme |
| ISBN | 9781785480966 (hc) |
| พิมพลักษณ์ | London : ISTE Press Ltd ;Kidlington, Oxford : Elsevier Ltd, 2017 |
| รูปเล่ม | x, 121 p. : ill |
| ลิงค์ | Ebook from ScienceDirect |
| หัวเรื่อง | Metal oxide semiconductors, Complementary --Design and construction [] |
| | Plasma etching |