| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Optical inspection of microsystems [electronic resource] / edited by Wolfgang Osten |
| ISBN | 0849336821 (alk. paper) |
| | 9780849336829 |
| | 9781315221250 (e-book) |
| | 9781420019162 (e-book : PDF) |
| พิมพลักษณ์ | Boca Raton, FL : CRC/Taylor & Francis, c2007 |
| รูปเล่ม | 503 p., [8] p. of plates : ill. (some col.) ; 27 cm |
| ลิงค์ | Contents. |
| | Click here for the electronic version |
| หัวเรื่อง | Microelectronics |
| | Optical detectors --Industrial applications [] |
| | Quality control --Optical methods [] |