| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Handbook of sputter deposition technology [electronic resource] : fundamentals and applications for functional thin films, nano-materials and MEMS / Hideaki Adachi [and others] ; edited by Kiyotaka Wasa, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera |
| พิมพลักษณ์ | Waltham, MA : William Andrew, 2012 |
| ครั้งที่พิมพ์ | 2nd ed |
| รูปเล่ม | 1 online resource |
| หัวเรื่อง | Cathode sputtering (Plating process) --Handbooks, manuals, etc [] |
| | Thin films --Handbooks, manuals, etc [] |