| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Photonic MEMS devices [electronic resource] : design, fabrication and control / Ai-Qun Liu ... [et al.] |
| ISBN | 9781315219875 (ebook) |
| | 9781420045680 |
| | 9781420045710 (e-book : PDF) |
| พิมพลักษณ์ | Boca Raton, FL. : CRC Press, c2009 |
| รูปเล่ม | 483 p. : ill |
| ลิงค์ | Taylor & Francis eBooks |
| หัวเรื่อง | Microelectromechanical systems |
| | Photonics |