| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Silicon carbide microsystems for harsh environments [electronic resource] / Muthu B.J. Wijesundara, Robert G. Azevedo |
| ผู้แต่ง | Wijesundara, Muthu b. j |
| ISBN | 1441971211 (electronic bk.) |
| | 9781441971203 |
| | 9781441971210 (electronic bk.) |
| พิมพลักษณ์ | New York : Springer, [2011] |
| รูปเล่ม | 1 online resource (xv, 232 pages) : illustrations |
| ลิงค์ | connect to resource |
| หัวเรื่อง | Microelectromechanical systems |