| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | การสร้างเซนเซอร์วัดแรงแบบเพียโซรีซิสทีฟชนิดฟิล์มบางด้วยกระบวนการไมโครแมชชีนนิ่ง = Fabrication of Piezoresistive MEMS Tactile Sensor by Micromachining Process |
| ผู้แต่ง | ณัฐพล พูนนิกร |
| ISBN | 9741851774 |
| พิมพลักษณ์ | 2548 |
| รูปเล่ม | 103 หน้า : ภาพประกอบ |
| หัวเรื่อง | ระบบเครื่องกลไฟฟ้าจุลภาค |
| | วิทยานิพนธ์ |