| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Handbook of sputter deposition technology : principles, technology, and applications / by Kiyotaka Wasa and Shigeru Hayakawa |
| ผู้แต่ง | Wasa, Kiyotaka |
| ISBN | 0815512805 |
| | 0815512805 2,660 baht |
| พิมพลักษณ์ | Park Ridge, NJ : Noyes Publications, c1992 |
| รูปเล่ม | 304 p. : ill |
| หัวเรื่อง | Cathode sputtering (Plating process) |
| | Cathoe sputtering (Platimg process) |
| | Thin films |