| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Materials and processes for next generation lithography [electronic resource] / edited by Alex Robinson and Richard Lawson |
| ISBN | 9780081003541 |
| พิมพลักษณ์ | Amsterdam : Elsevier, 2016 |
| รูปเล่ม | xxv, 605 p. : ill |
| ลิงค์ | Ebook from ScienceDirect |
| หัวเรื่อง | Nanolithography --Materials [] |
| | Photoresists |