| Type | Book |
| ชื่อเรื่อง | Micro process engineering : fundamentals, devices, fabrication and applications / edited by Norbert Kockmann |
| ISBN | 9783527335008 |
| | 9783527335008 : ฿4275.00 |
| พิมพลักษณ์ | Weinheim : Wiley-VCH ;[Chichester : John Wiley [distributor]], c2006 |
| | Weinheim, Germany : Wiley, c2013 |
| รูปเล่ม | xxii, 507 p. : ill |
| ลิงค์ | Contents. |
| | COMPUTER FILE |
| หัวเรื่อง | Microtechnology |
| | Production engineering |