| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Metal impurities in silicon-device fabrication / Klaus Graff |
| ผู้แต่ง | Graff, Klaus 1931- |
| ISBN | 3540642137 (hardcover : alk. paper) : ฿5960.00 |
| พิมพลักษณ์ | Berlin ;New York : Springer, c2000 |
| ครั้งที่พิมพ์ | 2nd, rev. ed |
| รูปเล่ม | xv, 268 p. : ill. ; 24 cm |
| ลิงค์ | Contents. |
| หัวเรื่อง | Contamination (Technology) |
| | Semiconductors --Defects [] |
| | Silicon --Defects [] |
| | Silicon --Inclusions [] |