| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Measurement technology for micro-nanometer devices / Wendong Zhang ... [et al.] |
| ISBN | 9781118717967 (hbk.) |
| พิมพลักษณ์ | Solaris South Tower, Singapore : John Wiley & Sons, c2017 |
| ครั้งที่พิมพ์ | 1st ed |
| รูปเล่ม | xii, 329 p. : ill. ; 25 cm |
| หัวเรื่อง | Microelectromechanical systems |
| | Microtechnology |
| | Nanotechnology |
| | Physical measurements |