| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Fundamental principles of optical lithography : the science of microfabrication / Chris Mack |
| ผู้แต่ง | Mack, Chris |
| ISBN | 0470018933 |
| | 9780470018934 |
| พิมพลักษณ์ | Hoboken, N.J. : Wiley, c2007 |
| รูปเล่ม | 515 p. : ill |
| หัวเรื่อง | Design and construction |
| | Industrial applications |
| | Integrated circuits |
| | Microlithography |