| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Handbook of plasma processing technology : fundamentals, etching, deposition, and surface interactions / edited by Stephen M. Rossnagel, Jermoe J. Cuomo, William D. Westwood |
| ISBN | 9781591242970 |
| พิมพลักษณ์ | Norwich, NY : Noyes Publication, c1990 |
| รูปเล่ม | 523 p. : ill |
| หัวเรื่อง | Plasma engineering |
| | Plasma etching |
| | Semiconductors |