| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Wafer manufacturing [electronic resource] : shaping of single crystal silicon wafers / Imin I. Kao and Chunhui Chung |
| ผู้แต่ง | Kao, Imin i |
| ISBN | 9780470061213 (hc) |
| | 9781118696224 (online) |
| | 9781118696231 (epub) |
| | 9781118696255 (ebook) |
| พิมพลักษณ์ | Hoboken, NJ : Wiley, 2021 |
| รูปเล่ม | 1 computer file |
| ลิงค์ | Wiley Online Library |
| หัวเรื่อง | Semiconductor wafers --Design and construction [] |