| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Silicon carbide microelectromechanical systems for harsh environments / Rebecca Cheung, editor |
| ISBN | 1860946240 |
| | 9781860946240 |
| พิมพลักษณ์ | London : Imperial College Press, c2006 |
| รูปเล่ม | x, 181 p. : ill. ; 24 cm |
| หัวเรื่อง | Microelectromechanical systems |
| | Silicon carbide |