| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Microlithography [electronic resource] : science and technology / editors, Kazuaki Suzuki and Bruce W. Smith |
| ISBN | 0824790243 (alk. paper) |
| | 9780824790240 |
| | 9780824790240 (alk. paper) |
| | 9781315219554 (ebook) |
| | 9781420051537 (ebook) |
| พิมพลักษณ์ | Boca Raton : Taylor & Francis, c2007 |
| ครั้งที่พิมพ์ | 2nd ed |
| รูปเล่ม | p. cm |
| ลิงค์ | Click here for the electronic version |
| หัวเรื่อง | Integrated circuits --Masks [] |
| | Manufacturing processes |
| | Metal oxide semiconductors, Complementary --Design and construction [] |
| | Microlithography --Industrial applications [] |