| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | A guide to hands-on MEMS design and prototyping / Joel Kubby |
| ผู้แต่ง | Kubby, Joel a |
| ISBN | 9780521889254 4500 |
| พิมพลักษณ์ | Cambridge, UK ; New York : Cambridge University Press, c2011 |
| รูปเล่ม | xi, 166 p., [16] p. of plates : ill. (some col.) |
| หัวเรื่อง | Microelectromechanical systems |