| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Etching in microsystem technology / Michael Köhler ; translated by Antje Wiegand |
| ผู้แต่ง | Köhler, J. m. (j. michael) 1956- |
| ISBN | 3527295615 |
| | 9783527295616 |
| พิมพลักษณ์ | Weinheim ; New York : Wiley-VCH, c1999 |
| รูปเล่ม | xvi, 368 p. : ill |
| หัวเรื่อง | Masks (Electronics) |
| | Microlithography |
| | Plasma etching |