| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | ผลการอบชุบทางความร้อนต่อสมบัติทางกายภาพของฟิล์มบางไทเทเนียมไนไตรด์ที่เคลือบด้วยเทคนิครีแอกทีฟแมกนีตรอนสปัตเตอริง : รายงานการวิจัย = Effect of heat treatment on physical properties of titanium nitride thin film deposited by reactive magnetron sputtering technique / ธนัสถา รัตนะ ... [และคนอื่น ๆ] |
| พิมพลักษณ์ | ชลบุรี : ภาควิชาฟิสิกส์ คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยบูรพา, 2557 |
| รูปเล่ม | vii, 45 แผ่น : ภาพประกอบ, แผนภูมิ ; 29 ซม |
| หัวเรื่อง | กระบวนการเคลือบผิว |
| | ไทเทเนียม |
| | ไทเทเนียมไดออกไซด์ |
| | ไทเทเนียมไนไตรด์ --การสังเคราะห์ [] |
| | พื้นผิววัสดุ (เทคโนโลยี) |
| | ฟิล์มบาง |
| | สปัตเตอริง (ฟิสิกส์) |