| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | An Introduction to microelectromechanical systems engineering / Nadim Maluf, Kirt Williams |
| ผู้แต่ง | Maluf, Nadim |
| ISBN | 1580535909 (alk. paper) : ฿4100.00 |
| พิมพลักษณ์ | Boston : Artech House, c2004 |
| ครั้งที่พิมพ์ | 2nd ed |
| รูปเล่ม | xx, 283 p. : ill. ; 26 cm |
| ลิงค์ | Contents. |
| หัวเรื่อง | Microelectromechanical systems |