| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Introduction to microlithography / edited by Larry F. Thompson, C. Grant Willson, Murrae J. Bowden |
| ISBN | 0841228485 |
| | 0841228485 (alk. paper) : ฿3100.00 |
| พิมพลักษณ์ | Washington, DC : American Chemical Society, 1994 |
| | Washington, DC : American Chemical Society, c1994 |
| ครั้งที่พิมพ์ | 2nd ed |
| รูปเล่ม | xiv, 527 p. : ill. ; 24 cm |
| หัวเรื่อง | Microlithography |
| | Microlithography --Congresses [] |
| | Plasma etching --Congresses [] |
| | Photoresists |
| | Photoresists --Congresses [] |
| | Plasma etching |
| | Semiconductors |
| | Semiconductors --Etching --Congresses [] |