| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Handbook of silicon wafer cleaning technology [electronic resource] / edited by Karen A. Reinhardt and Werner Kern |
| ISBN | 9780323510844 |
| พิมพลักษณ์ | Oxford, UK : William Andrew, c2018 |
| ครั้งที่พิมพ์ | 3rd ed |
| รูปเล่ม | xviii, 773 p. : ill |
| ลิงค์ | Ebook from ScienceDirect |
| | COMPUTER FILE |
| หัวเรื่อง | Silicon-on-insulator technology |