| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Deposition of titanium aluminium nitride thin film by reactive unbalanced magnetron sputtering method = การเคลือบฟิล์มบางไททาเนียม อลูมิเนียม ไนไตรด์ด้วยวิธีรีแอคตีฟ อันบาลานซ์ แมกนีตรอน สปัตเตอริง |
| ผู้แต่ง | Adisorn buranawong |
| พิมพลักษณ์ | 2010 |
| รูปเล่ม | 95 p. : ill |
| หัวเรื่อง | Titanium aluminium nitride |
| | ไททาเนียม อลูมิเนียม ไนไตรด์ |
| | วิทยานิพนธ์ |