| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Photomask fabrication technology / Benjamin G. Eynon, Jr., Banqiu Wu |
| ผู้แต่ง | Eynon, Benjamin g |
| ISBN | 0071445633 (alk. paper) : ฿4020.00 |
| พิมพลักษณ์ | New York : McGraw-Hill, c2005 |
| รูปเล่ม | xi, 571 p. : ill. ; 24 cm |
| ลิงค์ | Contents. |
| หัวเรื่อง | Integrated circuits --Masks [] |
| | Masks (Electronics) |
| | Microlithography |