| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Mechanics of microsystems [electronic resource] / Alberto Corigliano, Raffaele Ardito, Claudia Comi, Attilio Frangi, Aldo Ghisi and Stefano Mariani |
| ผู้แต่ง | Corigliano, Alberto |
| ISBN | 9781119053804 (ebook) |
| | 9781119053811 (epub) |
| | 9781119053828 (online) |
| | 9781119053835 |
| พิมพลักษณ์ | Hoboken, NJ : Wiley, 2018 |
| รูปเล่ม | 424 p |
| ลิงค์ | Wiley Online Library |
| หัวเรื่อง | Microelectromechanical systems |