| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Advances in chemical mechanical planarization (CMP) [electronic resource] / edited by Suryadevara Babu |
| ISBN | 9780081001653 |
| | 9780081002186 (online) |
| พิมพลักษณ์ | Amsterdam : Woodhead, c2016 |
| รูปเล่ม | 1 computer file |
| ลิงค์ | Ebook from ScienceDirect |
| หัวเรื่อง | Chemical mechanical planarization |
| | Microelectronics |
| | Nanoelectronics |