| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | สมบัติเชิงโครงสร้างและความแข็งระดับนาโนของฟิล์มบางเซอร์โคเนียมไททาเนียมไนไทร์ดที่ปลูกโดยวิธีดีซีรีแอกทีฟแมกนีตรอนสปัตเตอร์ริง : รายงานวิจัยฉบับสมบูรณ์ / คณะผู้วิจัย, สตรีรัตน์ กำแพงแก้ว, สุคคเณศ ตุงคะสมิต, Timo Seppanen |
| ผู้แต่ง | สตรีรัตน์ กำแพงแก้ว โฮดัค |
| พิมพลักษณ์ | กรุงเทพฯ : สำนักงานกองทุนสนับสนุนงานวิจัย, 2551 |
| รูปเล่ม | 22 แผ่น : ภาพประกอบ ; 30 ซม |
| หัวเรื่อง | Magnetron sputtering |
| | ไทเทเนียมไนไตรด์ |
| | ไนไตรด์ |
| | ฟิล์มบาง |
| | สารประกอบเซอร์โคเนียม |