| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Nanolithography and patterning techniques in microelectronics / edited by David G. Bucknall |
| ISBN | 0849334470 (hbk.) |
| | 1855739313 (hbk.) |
| | 9780849334474 |
| | 9781439823651 (e-book : PDF) |
| | 9781845690908 (e-book) |
| | 9781855739314 |
| | 9781855739314 (hbk.) |
| พิมพลักษณ์ | Cambridge : Woodhead Pub. ; Boca Raton, FL : CRC Press, c2005 |
| รูปเล่ม | 409 p. : ill |
| ลิงค์ | FullText |
| | Ebook from ScienceDirect |
| หัวเรื่อง | Electronic books |
| | Microlithography |
| | Nanotechnology |