| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Foundations of MEMS / Chang Liu |
| ผู้แต่ง | Liu, Chan |
| ISBN | 013199204X |
| | 0131472860 |
| | 9780131472860 |
| | 9780131992047 |
| พิมพลักษณ์ | Upper Saddle River, N.J. : Pearson/Prentice Hall, c2006 |
| รูปเล่ม | xxii, 530 p. : ill. ; 25 cm |
| หัวเรื่อง | Microelectromechanical systems |