| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | การเตรียมฟิล์มบางโดยวิธีดีซีแมกนิตรอนสปัตเตอริง / ธนูสิทธิ์ บุรินทร์ประโคน = Preparation of thin films by DC magnetron sputtering / Thanusit Burinprakhon |
| ผู้แต่ง | ธนูสิทธิ์ บุรินทร์ประโคน |
| ISBN | 9746319345 |
| พิมพลักษณ์ | 2538 |
| รูปเล่ม | ก-น, 169 แผ่น : ภาพประกอบ, แผนภูมิ |
| หัวเรื่อง | Glow discharges |
| | Sputtering (Physics) |
| | ฟิล์มบาง |