| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Handbook of silicon wafer cleaning technology [electronic resource] / edited by Karen A. Reinhardt, Werner Kern |
| ISBN | 0815515545 |
| | 9780815515548 |
| พิมพลักษณ์ | Norwich, NY : William Andrew, c2008 |
| ครั้งที่พิมพ์ | 2nd ed |
| รูปเล่ม | xxvi, 718 p. : ill |
| ลิงค์ | Ebook from ScienceDirect |
| หัวเรื่อง | Silicon-on-insulator technology |