สหบรรณานุกรมห้องสมุดสถาบันอุดมศึกษาไทย

| |

Type	Book
ชื่อเรื่อง	Semiconductor industry [electronic resource] : wafer fab exhaust management / J. Michael Sherer
ผู้แต่ง	Sherer, J. michael 1958-
ISBN	9781420027198 (ebook : PDF)
พิมพลักษณ์	Boca Raton : CRC/Taylor & Francis, 2005
รูปเล่ม	194 p
ลิงค์	Distributed by publisher. Purchase or institutional license may be required for access.
หัวเรื่อง	Air --Purification --Technological innovations []
	Semiconductor industry --Envionmental aspects []
	Semiconductor wafers --Design and construction []
	Volatile organic compounds --Envionmental aspects []

1	มหาวิทยาลัยแม่โจ้ 63 หมู่ 4 ตำบลหนองหาร อำเภอสันทราย จังหวัดเชียงใหม่ 50290 Loading items...