| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Handbook of silicon based MEMS [electronic resource] : materials & technologies / by Veikko Lindroos ... [et al.] |
| ISBN | 0815515944 (hbk.) |
| | 9780815515944 |
| | 9780815515944 (hbk.) : ฿10300.00 |
| พิมพลักษณ์ | Norwich : Elsevier, 2010 |
| ครั้งที่พิมพ์ | 1st ed |
| รูปเล่ม | 636 p |
| ลิงค์ | Contents. |
| | COMPUTER FILE |
| หัวเรื่อง | Microelectromechanical systems |
| | Microelectromechanical systems --Materials [] |
| | Silicon --Electric properties [] |