| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Atomic layer deposition : principles, characteristics, and nanotechnology applications / Tommi Kแeaแeariแeainen ... [et al.] |
| ISBN | 1118062779 (hc) |
| | 9781118062777 |
| | 9781118062777 (hbk.) |
| | 9781118062777 (hc) |
| | 9781118747407 (online) |
| พิมพลักษณ์ | Beverly, MA : Scrivener Publishing, 2013 |
| ครั้งที่พิมพ์ | 2nd ed |
| รูปเล่ม | xv, 253 p. : ill. ; 25 cm |
| ลิงค์ | Wiley Online Library |
| หัวเรื่อง | Chemical vapor deposition |
| | Epitaxy |
| | Microelectronics |
| | Nanotechnology |