| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | คุณลักษณะของฟิล์มบางแทนทาลัมไนไตรด์บนแผ่นฐานแก้วและโพลีอิไมด์ โดยการเคลือบด้วยวิธีรีแอคทีฟสปัตเตอร์ริง / สมัชชา วรธำรง = Characteristics of tantalum nitride thin films on glass and polyimide substrates deposited by reactive sputtering / Samatcha Vorathamrong |
| ผู้แต่ง | สมัชชา วรธำรง |
| พิมพลักษณ์ | 2554 |
| รูปเล่ม | ก-ฏ, 44 แผ่น : ภาพประกอบ |
| หัวเรื่อง | Sputtering (Physics) |
| | Tantalum |
| | Thin films |
| | แทนทาลัม |
| | ฟิล์มบาง |
| | สปัตเตอริง (ฟิสิกส์) |