| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Fundamentals of semiconductor manufacturing and process control / Gary S. May, Costas J.Spanos |
| ผู้แต่ง | May, Gary s |
| ISBN | 0471784060 |
| | 0471784060 (cloth : alk.paper) |
| | 0471784060 (hbk.) |
| | 9780471784067 (hc) |
| | 9780471790280 (online) |
| | 9780471784067 |
| พิมพลักษณ์ | Hoboken, N.J. : Wiley-Interscience, c2006 |
| รูปเล่ม | xix, 463 p. : ill., tables, charts. ; 25 cm |
| ลิงค์ | Wiley Online Library |
| หัวเรื่อง | Integrated circuits |
| | Process control |
| | Semiconductors |
| | Integrated circuits --Design and construction [] |
| | Process control --Statistical methods [] |
| | Semiconductors --Design and construction [] |