| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Plasma processes for semiconductor fabrication / W.N.G. Hitchon |
| ผู้แต่ง | Hitchon, W. nicholas g |
| ISBN | 0521591759 |
| | 0521591759 (hardback) |
| พิมพลักษณ์ | Cambridge ; New York : Cambridge University Press, 1999 |
| | Cambridge, U.K. : Cambridge University Press, c1999 |
| รูปเล่ม | ix, 221 p. : ill. ; 26 cm |
| หัวเรื่อง | Plasma etching |
| | Semiconductors --Etching [] |