| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Microelectronic applications of chemical mechanical planarization / edited by Yuzhuo Li |
| ISBN | 9780471719199 (hbk.) |
| | 9780471719199 |
| พิมพลักษณ์ | Hoboken, N.J. : Wiley-Interscience, c2008 |
| | Hoboken, N.J. : Wiley, c2007 |
| รูปเล่ม | xxv, 734 p. : ill |
| หัวเรื่อง | Microelectronics |
| | Chemical mechanical planarization |
| | Integrated circuits |
| | Integrated circuits --Design and construction [] |
| | Microelectronics --Materials [] |