| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Micro process engineering : fundamentals, devices, fabrication, and applications / Oliver Brand ... [et al.], (eds.) |
| ISBN | 3527312463 |
| | 9783527312467 |
| | 3527312463 (hc) |
| | 9783527312467 (hc) |
| พิมพลักษณ์ | Weinheim : Wiley-VCH , c2006 |
| รูปเล่ม | xxii, 507 p. : ill |
| หัวเรื่อง | MICROTECHNOLOGY |
| | PRODUCTION ENGINEERING |