| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Run-to-run control in semiconductor manufacturing [electronic resource] / edited by James Moyne, Enrique del Castillo and Arnon Max Hurwitz |
| ISBN | 0849311780 (alk. paper) |
| | 9780849311789 |
| | 9781315220239 (ebook) |
| พิมพลักษณ์ | Boca Raton, FL : CRC Press, 2001 |
| รูปเล่ม | 367 p. : ill |
| ลิงค์ | Taylor & Francis eBooks |
| | Click here for the electronic version |
| หัวเรื่อง | Electronic packaging |
| | Production management |
| | Semiconductors --Design and construction [] |
| | Semiconductor industry --Production control [] |