| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Modeling MEMS and NEMS [electronic resource] / John A. Pelesko and David H. Bernstein |
| ผู้แต่ง | Pelesko, John a |
| ISBN | 9780429140969 (ebook) |
| | 9781420035292 (ebook) |
| | 9781584883067 |
| พิมพลักษณ์ | Boca Raton, FL : Chapman & Hall/CRC, 2003 |
| รูปเล่ม | xxiii, 357 p. : ill |
| ลิงค์ | Taylor & Francis eBooks |
| หัวเรื่อง | Microelectromechanical systems --Mathematical models [] |