| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Fabrication of silicon microprobes for optical near-field applications [electronic resource] / Phan Ngoc Minh, Ono Takahito and Esashi Masayoshi |
| ผู้แต่ง | Minh, Phan ngoc |
| ISBN | 9780849311543 |
| | 9781315220215 (ebook) |
| พิมพลักษณ์ | Boca Raton, Fl : CRC Press, c2002 |
| รูปเล่ม | 195 p. : ill |
| ลิงค์ | Taylor & Francis eBooks |
| หัวเรื่อง | Micromachining |
| | Microprobe analysis |
| | Near-field microscopy |
| | Silicon |